課程大綱： 光學檢測高級培訓
一、光學檢測的理論、技能及常規檢測技術
1、光學檢測的發展歷史回顧
2、光學檢測的物理基礎和計量基礎
3、光學檢測的能力要求
4、光學材料與元件參數的檢測技術
5、光學系統性能的檢測技術
6、半導體芯片納米制造業中的在線光學檢測
二、激光共焦/干涉測量新技術及其應用
元部件參數的高精度、快速檢測是高性能制造的關鍵所在，
激光共焦測量技術由于具有光學鄰域獨特的高分辨、高層析和抗散射能力，
近年來在光學元件測量領域開始廣泛應用，特別是共焦測量技術與干涉測量技術的有機結合，
顯著提升了光學元件的測量精度、測量速度、抗散射能力以及多參數測量能力效率，
使我們在一臺儀器上首次實現了球面元件面形、曲率半徑、折射率、透鏡中心厚度、焦距及間隔等參數的高精度高效測量等，
應用前景廣闊。本專題將從共焦測量和共焦-干涉測量新原理講解出發，系統講述測量系統的構建及其典型應用實例，具體包括以下幾節：
1、激光共焦顯微技術對科學技術研究的推動作用
2、激光差動共焦顯微成像技術及應用
3、激光差動共焦干涉元件參數測量技術及應用
4、激光差動共焦光譜聯用成像技術及應用
三、光干涉檢測技術
1、干涉基礎知識
1）干涉測量基礎知識
2）典型干涉儀介紹
3）移相干涉技術
2、激光干涉儀及應用
1）平面干涉儀及其應用
2）球面干涉儀及其應用
3）非球面干涉檢測技術
3、波前的干涉檢測技術
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